Персоналии
Еганова Елена Михайловна
Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Россия, 115487, г. Москва, ул. Нагатинская, 16А, стр. 11)
Волкова Лидия Сергеевна
Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, Россия, 119991, г. Москва, Ленинский пр-т, 32А
Кандидат физико-математических наук, старший научный сотрудник ИНМЭ РАН (Россия, 119991, г. Москва, Ленинский проспект, д. 32А)
доктор физико-математических наук, профессор, член-корреспондент Татарской АН, начальник лаборатории ИНМЭ РАН (г. Москва). Область научных интересов: физика полупроводниковых приборов, нанотехнологии и наноэлектроника, в частности термодинамика и кинетика формирования наноструктур, адсорбция, процессы переноса в наноструктурах.