Лазерное имитационное моделирование объемных ионизационных эффектов в субмикронных СБИС

Адекватность лазерного имитационного моделирования объемных ионизационных эффектов (мощности дозы) в микросхемах нарушается

• Ключевые слова: мощность дозы, лазерное моделирование, металлизация, дифракция
• Опубликовано в разделе: Микроэлектронные приборы и системы
• Библиографическая ссылка: