Проведены исследования напряженно-деформированного состояния материалов конструкции СВЧ МДП-диодов, выполненной в виде соединения кремниевой мембраны с двумя золотыми балочными выводами, при температурном воздействии и воздействии повышенного атмосферного давления. Конструкция защищена различными герметизирующими материалами на основе лаков, эмалей, компаундов. Разработаны рекомендации по минимизации напряженно-деформированного состояния соединения разнородных материалов путем физической совместимости материалов герметизированной сборочной конструкции диода.
1. Физические величины: Справочник / Под ред. И.С.Григорьева, Е.З.Мейлахова. - М.: Энергоатомиздат,
1991. - 1232 с.
2. Кузнецов О.А., Погалов А.И., Сергеев В.С. Прочность элементов микроэлектронной аппаратуры. - М.:
Радио и связь, 1990. - 144 с.
3. Ли К. Основы САПР (CAD/CAM /САЕ). - СПб.: Питер, 2004. - 560 с.
4. Норепков И.П., Кузьмик П.К. Информационная поддержка наукоемких изделий. САLSтехнологии.
- М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2002. - 320 с.
5. Норепков И.П. Основы автоматизированного проектирования. - М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана,
2006. - 448 с.
6. Феодосьев В.И. Сопротивление материалов. - М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2000. - 592 с.