На этапе предварительного проектирования топологии чувствительного элемента микромеханического акселерометра необходимо иметь определенный набор критериев его надежности. В работе на основе математического анализа сделано уточнение и обобщение формул для оценки момента упругости и жесткости торсионов чувствительного элемента микромеханического акселерометра. Получен тривиальный критерий работоспособности чувствительного элемента. Намечен путь создания эридитарной системы моделей для оценки работоспособности микромеханического акселерометра с учетом термомеханических воздействий окружающей среды.
1. Вавилов В. Д., Тимошенков С. П., Тимошенков А. С. Микросистемные датчики физических величин: монография: в 2-х ч. – М.: ТЕХНОСФЕРА, 2018. – 550 с.
2. Ачильдиев В.М., Грузевич Ю.К., Солдатенков В.А. Информационные измерительные и оптико-электронные системы на основе микро-и наномеханических датчиков угловой скорости и линейного ускорения. – М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2016. – 260 с.
3. Amy D., Rob N. C., Thomas W. K., Mathew V. Engineering MEMS resonators with low thermoelastic damping // J. of Microelectromechanical Systems. – 2015. – Vol. 15. – No. 6. – P. 1437–1444.
4. Тимошенков С.П., Бритков О.М., Заводян А.В., Симонов Б.М. Расчет параметров чувствительных элементов микромеханических акселерометров // Микросистемная техника. Моделирование, технология, контроль: сб. научн. трудов / Под ред. С.П. Тимошенкова. – М.: МИЭТ, 2007. – 208 с.
5. Тимошенков С.П., Симонов Б.М., Горошко В.Н. Надежность технических систем и техногенный риск: учеб. пособие. – М.: Юрайт, 2017. – 502 с.
6. Тимошенко С.П., Гудьер Дж. Теория упругости: пер. с англ. под ред. Г.С. Шапиро. – 2-e изд. – М.: Наука, 1979. – 560 с.
7. Aung Thura, Simonov B.M., Goroshko V.N., Timoshenkov S.P. Accelerated life time estimation of the MEMS devices in the thermal influence // 2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (Moscow, Zelenograd, 29 Jan.–1 Feb. 2018). – 2018. – P. 1590–1594.