Расчет коэффициента жесткости и момента упругости чувствительного элемента микромеханического акселерометра

Расчет коэффициента жесткости и момента упругости чувствительного элемента микромеханического акселерометра

На этапе предварительного проектирования топологии чувствительного элемента микромеханического акселерометра необходимо иметь определенный набор критериев его надежности. В работе на основе математического анализа сделано уточнение и обобщение формул для оценки момента упругости и жесткости торсионов чувствительного элемента микромеханического акселерометра. Получен тривиальный критерий работоспособности чувствительного элемента. Намечен путь создания эридитарной системы моделей для оценки работоспособности микромеханического акселерометра с учетом термомеханических воздействий окружающей среды.
Борис Михайлович Симонов
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», Москва, Россия
Владимир Николаевич Горошко
Национальный исследовательский университет МИЭТ, г. Москва, Россия
Алексей Сергеевич Тимошенков
Национальный исследовательский университет МИЭТ, г. Москва, Россия
Поделиться