1561-5405 10.24151/1561-5405 Proceedings of Universities. Electronics Scientifical and technical journal "Proceedings of Universities. Electronics" Научно-технический журнал «Известия высших учебных заведений. Электроника» 1561-5405 2587-9960 National Research University of Electronic Technology Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" 10.24151/1561-5405-2018-23-6-625-629681.586Краткие сообщенияCalculation of Stiffness and Elasticity Coefficient of Sensitive Element of Micromechanical AccelerometerРасчет коэффициента жесткости и момента упругости чувствительного элемента микромеханического акселерометраСимонов Борис Михайлович СимоновБорис Михайлович MikhaylovichSimonov BorisSimonov Boris MikhaylovichГорошко Владимир Николаевич ГорошкоВладимир Николаевич NikolaevichGoroshko VladimirGoroshko Vladimir NikolaevichТимошенков Алексей СергеевичТимошенковАлексей СергеевичTimoshenkovAleksey S.Aleksey S. TimoshenkovНациональный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, РоссияНациональный исследовательский университет МИЭТ, г. Москва, Россия ООО «Лаборатория микроприборов», г. Москва, Россия625629http://ivuz-e.ru/issues/6-_2018/raschet_koeffitsienta_zhestkosti_i_momenta_uprugosti_chuvstvitelnogo_elementa_mikromekhanicheskogo_a/http://ivuz-e.ru/download/6_2018_2325.pdf

The micromechanical accelerometers (MMA) find more common application in the information-measuring and opto-electronic systems. The parameters and characteristics of MMA are determined by their design and manufacturing technology, the MMA functioning is affected by a significant number of external and internal influencing factors. In the work, a more precise definition and generalization of formulas for estimate the moment of elasticity and stiffness of the sensitive element torsions have been made. In designing SE a trivial criterion of efficiency has been obtained. The way of creating an eridit system of the models for the estimation of the MMA working capacity in view of the thermomechanical influences of the environment has been planned.

На этапе предварительного проектирования топологии чувствительного элемента микромеханического акселерометра необходимо иметь определенный набор критериев его надежности. В работе на основе математического анализа сделано уточнение и обобщение формул для оценки момента упругости и жесткости торсионов чувствительного элемента микромеханического акселерометра. Получен тривиальный критерий работоспособности чувствительного элемента. Намечен путь создания эридитарной системы моделей для оценки работоспособности микромеханического акселерометра с учетом термомеханических воздействий окружающей среды.

чувствительный элементкоэффициент жесткостимомент упругостимикромеханический акселерометр Вавилов В. Д., Тимошенков С. П., Тимошенков А. С. Микросистемные датчики физических величин: монография: в 2-х ч. – М.: ТЕХНОСФЕРА, 2018. – 550 с.Ачильдиев В.М., Грузевич Ю.К., Солдатенков В.А. Информационные измерительные и оптико-электронные системы на основе микро-и наномеханических датчиков угловой скорости и линейного ускорения. – М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2016. – 260 с.Amy D., Rob N. C., Thomas W. K., Mathew V. Engineering MEMS resonators with low thermoelastic damping // J. of Microelectromechanical Systems. – 2015. – Vol. 15. – No. 6. – P. 1437–1444.Тимошенков С.П., Бритков О.М., Заводян А.В., Симонов Б.М. Расчет параметров чувствительных элементов микромеханических акселерометров // Микросистемная техника. Моделирование, технология, контроль: сб. научн. трудов / Под ред. С.П. Тимошенкова. – М.: МИЭТ, 2007. – 208 с.Тимошенков С.П., Симонов Б.М., Горошко В.Н. Надежность технических систем и техногенный риск: учеб. пособие. – М.: Юрайт, 2017. – 502 с.Тимошенко С.П., Гудьер Дж. Теория упругости: пер. с англ. под ред. Г.С. Шапиро. – 2-e изд. – М.: Наука, 1979. – 560 с.Aung Thura, Simonov B.M., Goroshko V.N., Timoshenkov S.P. Accelerated life time estimation of the MEMS devices in the thermal influence // 2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (Moscow, Zelenograd, 29 Jan.–1 Feb. 2018). – 2018. – P. 1590–1594.