The micromechanical accelerometers (MMA) find more common application in the information-measuring and opto-electronic systems. The parameters and characteristics of MMA are determined by their design and manufacturing technology, the MMA functioning is affected by a significant number of external and internal influencing factors. In the work, a more precise definition and generalization of formulas for estimate the moment of elasticity and stiffness of the sensitive element torsions have been made. In designing SE a trivial criterion of efficiency has been obtained. The way of creating an eridit system of the models for the estimation of the MMA working capacity in view of the thermomechanical influences of the environment has been planned.
1. Вавилов В. Д., Тимошенков С. П., Тимошенков А. С. Микросистемные датчики физических величин: монография: в 2-х ч. – М.: ТЕХНОСФЕРА, 2018. – 550 с.
2. Ачильдиев В.М., Грузевич Ю.К., Солдатенков В.А. Информационные измерительные и оптико-электронные системы на основе микро-и наномеханических датчиков угловой скорости и линейного ускорения. – М.: Изд-во МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2016. – 260 с.
3. Amy D., Rob N. C., Thomas W. K., Mathew V. Engineering MEMS resonators with low thermoelastic damping // J. of Microelectromechanical Systems. – 2015. – Vol. 15. – No. 6. – P. 1437–1444.
4. Тимошенков С.П., Бритков О.М., Заводян А.В., Симонов Б.М. Расчет параметров чувствительных элементов микромеханических акселерометров // Микросистемная техника. Моделирование, технология, контроль: сб. научн. трудов / Под ред. С.П. Тимошенкова. – М.: МИЭТ, 2007. – 208 с.
5. Тимошенков С.П., Симонов Б.М., Горошко В.Н. Надежность технических систем и техногенный риск: учеб. пособие. – М.: Юрайт, 2017. – 502 с.
6. Тимошенко С.П., Гудьер Дж. Теория упругости: пер. с англ. под ред. Г.С. Шапиро. – 2-e изд. – М.: Наука, 1979. – 560 с.
7. Aung Thura, Simonov B.M., Goroshko V.N., Timoshenkov S.P. Accelerated life time estimation of the MEMS devices in the thermal influence // 2018 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (Moscow, Zelenograd, 29 Jan.–1 Feb. 2018). – 2018. – P. 1590–1594.