Методами конечных элементов и конформных отображений построены аналитические модели низкоомных и ультранизкоомных пленочных резисторов основных типов гребенчатых (встречно-штыревых) структур при произвольных отношениях удельных поверхностных сопротивлений резистивной и проводящей пленок. В результирующем сопротивлении учтены сопротивления электродов гребенчатой структуры и объединяющих электродов, а также дополнительное сопротивление, связанное с переходом тока из проводящей пленки в резистивную и наоборот. Выявлены условия, при которых граница раздела пленок может считаться эквипотенциальной. Построена схема замещения низкоомных гребенчатых резисторов, используемых в качестве датчиков тока в схемах стабилизации, контроля, тепловой и токовой защиты.
Садков Виктор Дмитриевич
Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева, г. Нижний Новгород, Россия
Лопаткин Александр Викторович
Институт радиоэлектроники и информационных технологий Нижегородского государственного технического университета им. Р.Е. Алексеева
1. Седаков А.Ю., Смолин В.К. Тонкопленочные элементы в микроэлектронике: осно-вы проектирования и изготовления. М.: Радиотехника, 2011. – 168 с.
2. Лугин А.Н. Конструкторско-технологические основы проектирования тонкопле-ночных прецизионных резисторов. – Пенза: ИИЦ ПензГУ, 2008. – 288 с.
3. Колпаков А. Измерение тока в мощных импульсных преобразовательных устрой-ствах// Электронные компоненты. – 2004. – № 2. – С. 77–83.
4. Гельмутдинов А.Х., Ермолаев Ю.П. Модели оценки сопротивления пленочных контактов и резисторов с распределенными параметрами. – Казань: ЗАО «Новое знание», 2005. – 76 с.
5. Спирин В.Г. Сопротивление электродов тонкопленочного резистора // Нано- и микросистемная техника. – 2008.– № 7. – С.19–24.
6. Лугин А.Н. Наноразмерные эффекты в тонкопленочном контакте // Петербургский журнал электроники. – 2012.– № 1. – С. 41–45.
7. Садков В.Д., Еремеев Ю.В., Якимов Д.Ю. Методика расчета сопротивления прецизионного пленочного гантельного резистора // Изв. вузов. Электроника. – 2011. – № 3. – С. 44–49.
8. Садков В.Д., Еремеев Ю.В., Старанчук П.Н. Моделирование многослойного контакта прецизионного чип-резистора // Изв. вузов. Электроника. – 2014. – № 6 (110). – С. 14–21.
9. Ямпурин Н.П., Широков Л.В., Садков В.Д. Современные вопросы радиоэлектро-ники с позиций теории аналитических функций. – Арзамас: АГПИ, 2014. – 209 с.
10. Крылов В.И. Приближенное вычисление интегралов. – М.: Наука, 1967. – 500 с.