Уточненная модель низкоомных пленочных резисторов с гребенчатой структурой

Методами конечных элементов и конформных отображений построены аналитические модели низкоомных и ультранизкоомных пленочных резисторов основных типов гребенчатых (встречно-штыревых) структур при произвольных отношениях удельных поверхностных сопротивлений резистивной и проводящей пленок. В результирующем сопротивлении учтены сопротивления электродов гребенчатой структуры и объединяющих электродов, а также дополнительное сопротивление, связанное с переходом тока из проводящей пленки в резистивную и наоборот. Выявлены условия, при которых граница раздела пленок может считаться эквипотенциальной. Построена схема замещения низкоомных гребенчатых резисторов, используемых в качестве датчиков тока в схемах стабилизации, контроля, тепловой и токовой защиты.
Виктор Дмитриевич Садков
Нижегородский государственный технический университет им. Р.Е. Алексеева, г. Нижний Новгород, Россия
Александр Викторович Лопаткин
Институт радиоэлектроники и информационных технологий Нижегородского государственного технического университета им. Р.Е. Алексеева
Поделиться