Добротность колебательного контура чувствительного элемента МЭМС-датчика зависит от многих факторов, в том числе от геометрии чувствительного элемента и степени вакуумирования. Разрабатываемые микромеханические элементы могут выполнять задачи измерения ускорения, угловой скорости, давления и т. д. Чувствительный элемент размещают в отдельном корпусе с определенной газовой средой, состояние которой оказывает влияние на характеристики прибора. В работе предложен метод определения зависимости добротности колебательного контура чувствительного элемента МЭМС-датчика от степени вакуумирования. Представлен стенд для проведения исследований. На основе полученных экспериментальных данных проведены численные расчеты добротности. Установлено, что степень вакуумирования оказывает существенное влияние на добротность колебательного контура.
Тимошенков Сергей Петрович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1
Тимошенков Алексей Сергеевич
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1; ООО «Лаборатория Микроприборов», Россия, 124527, г. Москва, г. Зеленоград, Солнечная аллея, 6
Анчутин Степан Александрович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1; ООО «Лаборатория Микроприборов», Россия, 124527, г. Москва, г. Зеленоград, Солнечная аллея, 6
Кочурина Елена Сергеевна
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1; ООО «Лаборатория Микроприборов», Россия, 124527, г. Москва, г. Зеленоград, Солнечная аллея, 6
Дернов Илья Сергеевич
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1; ООО «Лаборатория Микроприборов», Россия, 124527, г. Москва, г. Зеленоград, Солнечная аллея, 6
Мусаткин Александр Сергеевич
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1; ООО «Лаборатория Микроприборов», Россия, 124527, г. Москва, г. Зеленоград, Солнечная аллея, 6
1. Разработка чувствительного элемента микромеханического акселерометра / Е. С. Кочурина, С. А. Анчутин, В. В. Калугин и др. // Изв. вузов. Электроника. 2022. Т. 27. № 1. С. 59–67. https://doi.org/ 10.24151/1561-5405-2022-27-1-59-67. – EDN: JPSKAX.
2. Разработка и исследование МЭМС-акселерометра / Е. С. Кочурина, С. А. Анчутин, А. С. Мусаткин и др. // Наноиндустрия. 2022. Т. 15. № S8-1 (113). С. 235–238. https://doi.org/10.22184/ 1993-8578.2022.15.8s.235.238. – EDN: NAVGJZ.
3. Gavan K. B., Heijden J. van der, Drift E. W. J. M. van der, Zant H. S. J. van der. Effect of pressure on the Q factor and the resonance frequency of SiN microcantilevers // 2009 4th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems. Shenzhen: IEEE, 2009. P. 380–384. https://doi.org/10.1109/ NEMS.2009.5068600
4. Blom F. R., Bouwstra S., Elwenspoek M., Fluitman J. H. J. Dependence of the quality factor of micromachined silicon beam resonators on pressure and geometry // J. Vac. Sci. Technol. B. 1992. Vol. 10. Iss. 1. P. 19–26. https://doi.org/10.1116/1.586300