8 июля 2021 г. исполнилось 95 лет ученому в области плазмохимических процессов микроэлектроники, доктору технических наук, профессору Степану Архиповичу Неустроеву. Свою трудовую деятельность С.А. Неустроев начал в 1942 г. на Урале, на заводе по производству боеприпасов, и проработал там до конца Великой Отечественной войны. Окончив Уральский политехнический институт, Степан Архипович работал в системе Министерства среднего машиностроения. Разработанные при его участии технологические процессы и аппараты были внедрены в производство. В 1963 г. С.А. Неустроев защитил кандидатскую диссертацию и продолжил свою трудовую деятельность в НИИ точного машиностроения в г. Зеленограде, а с 1969 г. - в МИЭТ. По инициативе С.А. Неустроева в НИИ точного машиностроения впервые для разложения летучих элементоорганических соединений с целью получения твердых покрытий и химически активных частиц была применена плазма газового ВЧ-разряда. С.А. Неустроев разработал плазмохимические установки для осаждения пленок диэлектриков, травления фоторезистов, кремния и его соединений, металлов. В дальнейшем такими установками были оснащены предприятия электронной промышленности. На кафедре специальных материалов электроники МИЭТ С.А. Неустроев продолжил исследования плазмохимических процессов, а также принял участие во внедрении разработанных установок в операции герметизации и формирования многоуровневой разводки ИС, травления кремния для trench-изоляции, удаления фоторезиста и др. Итогом этой работы стала защита докторской диссертации в 1974 г. За время работы в МИЭТ профессор С.А. Неустроев внес значительный вклад в постановку, совершенствование и развитие учебного процесса. Им были разработаны и прочитаны несколько курсов по технологии материалов электронной техники и плазмохимическим методам в микроэлектронике. Степан Архипович с 1973 по 2008 г. занимал должность ученого секретаря Ученого совета МИЭТ, являлся членом двух диссертационных советов. С 2008 г. С.А. Неустроев продолжает научно-иссле-довательскую и педагогическую деятельность. В настоящее время он работает в должности профессора-консультанта Института перспективных материалов и технологий МИЭТ. С.А. Неустроев - автор 400 научных трудов, в том числе более 40 учебно-методических пособий, им получено 37 авторских свидетельств на изобретения и патентов. Под его руководством подготовлены 24 кандидата и 3 док-тора наук, один из которых - академик РАН. Трудовая деятельность С.А. Неустроева высоко оценена государством: он награжден медалью «За доблестный труд в Великой Отечественной войне 1941-1945 гг.», медалями за участие в конкурсе научных работ Минвуза СССР, знаком «Почетный работник высшего профессионального образования», имеет почетное звание «Заслуженный профессор МИЭТ». Поздравляем Степана Архиповича с юбилеем, желаем крепкого здоровья, благополучия и выражаем глубокую признательность за значительный вклад в развитие науки!
-
Опубликовано в разделе:
Юбилеи
-
Библиографическая ссылка: