<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<article xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xmlns:ali="http://www.niso.org/schemas/ali/1.0/" article-type="research-article" dtd-version="1.2" xml:lang="en">
  <front>
    <journal-meta>
      <journal-id journal-id-type="issn">1561-5405</journal-id>
	    <journal-id journal-id-type="doi">10.24151/1561-5405</journal-id>	  
      <journal-id journal-id-type="publisher-id">Proceedings of Universities. Electronics</journal-id>
      <journal-title-group>
        <journal-title xml:lang="en">Scientifical and technical journal "Proceedings of Universities. Electronics"</journal-title>
        <trans-title-group xml:lang="ru">
          <trans-title>Научно-технический журнал «Известия высших учебных заведений. Электроника»</trans-title>
        </trans-title-group>        
      </journal-title-group>      
      <issn publication-format="print">1561-5405</issn>
      <issn publication-format="online">2587-9960</issn>
      <publisher>
        <publisher-name xml:lang="en">National Research University of Electronic Technology</publisher-name>
        <publisher-name xml:lang="ru">Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"</publisher-name>
      </publisher>
    </journal-meta>
    <article-meta>                                    
      
    <article-categories><subj-group><subject>Юбилеи</subject></subj-group></article-categories><title-group><article-title xml:lang="en">Archives</article-title><trans-title-group xml:lang="ru"><trans-title>Неустроеву Степану Архиповичу - 95 лет</trans-title></trans-title-group></title-group><fpage>437</fpage><lpage>438</lpage><self-uri>http://ivuz-e.ru/issues/5-_2021/neustroevu_stepanu_arkhipovichu_95_let/</self-uri><abstract xml:lang="en"><p/></abstract><trans-abstract xml:lang="ru"><p>8 июля 2021 г. исполнилось 95 лет ученому в области плазмохимических процессов микроэлектроники, доктору технических наук, профессору Степану Архиповичу Неустроеву. Свою трудовую деятельность С.А. Неустроев начал в 1942 г. на Урале, на заводе по производству боеприпасов, и проработал там до конца Великой Отечественной войны. Окончив Уральский политехнический институт, Степан Архипович работал в системе Министерства среднего машиностроения. Разработанные при его участии технологические процессы и аппараты были внедрены в производство. В 1963 г. С.А. Неустроев защитил кандидатскую диссертацию и продолжил свою трудовую деятельность в НИИ точного машиностроения в г. Зеленограде, а с 1969 г. - в МИЭТ. По инициативе С.А. Неустроева в НИИ точного машиностроения впервые для разложения летучих элементоорганических соединений с целью получения твердых покрытий и химически активных частиц была применена плазма газового ВЧ-разряда. С.А. Неустроев разработал плазмохимические установки для осаждения пленок диэлектриков, травления фоторезистов, кремния и его соединений, металлов. В дальнейшем такими установками были оснащены предприятия электронной промышленности. На кафедре специальных материалов электроники МИЭТ С.А. Неустроев продолжил исследования плазмохимических процессов, а также принял участие во внедрении разработанных установок в операции герметизации и формирования многоуровневой разводки ИС, травления кремния для trench-изоляции, удаления фоторезиста и др. Итогом этой работы стала защита докторской диссертации в 1974 г. За время работы в МИЭТ профессор С.А. Неустроев внес значительный вклад в постановку, совершенствование и развитие учебного процесса. Им были разработаны и прочитаны несколько курсов по технологии материалов электронной техники и плазмохимическим методам в микроэлектронике. Степан Архипович с 1973 по 2008 г. занимал должность ученого секретаря Ученого совета МИЭТ, являлся членом двух диссертационных советов. С 2008 г. С.А. Неустроев продолжает научно-иссле-довательскую и педагогическую деятельность. В настоящее время он работает в должности профессора-консультанта Института перспективных материалов и технологий МИЭТ. С.А. Неустроев - автор 400 научных трудов, в том числе более 40 учебно-методических пособий, им получено 37 авторских свидетельств на изобретения и патентов. Под его руководством подготовлены 24 кандидата и 3 док-тора наук, один из которых - академик РАН. Трудовая деятельность С.А. Неустроева высоко оценена государством: он награжден медалью «За доблестный труд в Великой Отечественной войне 1941-1945 гг.», медалями за участие в конкурсе научных работ Минвуза СССР, знаком «Почетный работник высшего профессионального образования», имеет почетное звание «Заслуженный профессор МИЭТ». Поздравляем Степана Архиповича с юбилеем, желаем крепкого здоровья, благополучия и выражаем глубокую признательность за значительный вклад в развитие науки!</p></trans-abstract><kwd-group xml:lang="ru"><kwd/></kwd-group><funding-group/></article-meta>
  </front>
  <body/>
  <back>
    <ref-list/>    
  </back>
</article>
