Система резонансной настройки вибрационного многокомпонентного МЭМС-гироскопа

В вибрационной МЭМС-системе нередко возникает проблема изменения параметров миниатюрных структур из-за температурной чувстви-тельности и усталости микроэлементов. В результате изменяется собственная частота системы. В вибрационных устройствах, например в МЭМС-гироскопах, резонанс определяет эффективность работы, диапазон измерения и масштабный коэффициент устройства. В работе исследованы причины, вызывающие изменения частотных характеристик и собственных частот вибрационной структуры, что имеет большое значение при анализе технических характеристик МЭМС-устройства. Проведен анализ частотных характеристик вибрационного многокомпонентного МЭМС-гироскопа. Представлена математическая модель определения смещения резонансной частоты и построена система с фазовой синхронизацией для отслеживания собственной частоты канала первичных колебаний. Разработан метод отслеживания и поддержания резонанса в канале первичных колебаний с использованием системы фазовой автоподстройки частоты. Резонансная частота канала первичных колебаний, полученная в результате эксперимента, соответствует теоретическому анализу и составляет 12,52 кГц с максимальной амплитудой колебаний 520 мВ.
Ло Ван Хао
Национальный исследовательский Томский политехнический университет, г. Томск, Россия
Тамара Георгиевна Нестеренко
Национальный исследовательский Томский политехнический университет, г. Томск, Россия
Поделиться