Персоналии

Ло Ван Хао
аспирант Инженерной школы неразрушающего контроля и безопасности Отделения электронной инженерии Национального исследовательского Томского политехнического университета (Россия, 634034, г.Томск, пр. Ленина, д. 30/А)

Статьи автора

В вибрационной МЭМС-системе нередко возникает проблема изменения параметров миниатюрных структур из-за температурной чувстви-тельности и усталости микроэлементов. В результате изменяется собственная частота системы. В вибрационных устройствах, например в МЭМС-гироскопах, резонанс определяет эффективность работы, диапазон измерения и масштабный коэффициент устройства. В работе исследованы причины, вызывающие изменения частотных характеристик и собственных частот вибрационной структуры, что имеет большое значение при анализе технических характеристик МЭМС-устройства. Проведен анализ частотных характеристик вибрационного многокомпонентного МЭМС-гироскопа. Представлена математическая модель определения смещения резонансной частоты и построена система с фазовой синхронизацией для отслеживания собственной частоты канала первичных колебаний. Разработан метод отслеживания и поддержания резонанса в канале первичных колебаний с использованием системы фазовой автоподстройки частоты. Резонансная частота канала первичных колебаний, полученная в результате эксперимента, соответствует теоретическому анализу и составляет 12,52 кГц с максимальной амплитудой колебаний 520 мВ.

  • Просмотров: 456 | Комментариев : 0