Использование хлоридных электролитов для электрохимического осаждения пермаллоя NiFe перспективно, так как сульфатные электролиты при наличии серы являются нестабильными. Магнитные параметры пленок сплава NiFe очень чувствительны к отклонению состава от молярного соотношения компонентов, равного 4,26. В работе контроль точности приготовления хлоридного электролита для электрохимического осаждения пермаллоя проведен с использованием спектрофотометрии. Анализ электролита по спектрам поглощения и рассеивания света коллоидными частицами гидроксида железа показал, что электролитическая диссоциация двухвалентного железа и механизм аномального соосаждения никеля и железа зависят от температуры и влияют на электрохимическое осаждение пленок пермаллоя. Отмечено, что специфической особенностью раствора хлорида железа при гидролизе является выделение осадка гидроксида железа в виде коллоидных частиц с комплексообразователем - борной кислотой. Показано, что из хлоридного электролита после фильтрации раствора хлорида железа никель осаждается лучше, чем железо. Установлено, что происходит нормальное конгруэнтное осаждение пленок сплава NiFe и аномальное соосаждение исключается.
1. Коровин Н.В. О катодном процессе при электроосаждении сплава железо – никель // Журнал неорганической химии. – 1957. – Т. 2. – Вып. 9. – С. 2259–2263.
2. Harris Th.M., Wilson J.L. Electroplating bath for nickel-iron alloys and method // Patent US 5932082 A, 1999.
3. Afshar А., Dolati A.G., Ghorbani M. Electrochemical characterization of the Ni-Fe alloy electrodeposition from chloride-citrate-glycolic acid solutions // Materials Chemistry and Physics. – 2002. – Vol. 77. – P. 352–358.
4. Electrodeposition and characterization of nanocrystalline Ni-Fe Alloys / R. Abdel-Karim, Y. Reda, M. Muhammed et al. // Journal of Nanomaterials. – 2011. – Vol. 2011. – Article ID519274. – 8 p.
5. Тихонов Р.Д. Электроосаждение сплава NiFe для производства интегральных микросхем // Гальванотехника и обработка поверхности. – 2015. – №4. – C. 13–19.
6. Tikhonov R.D. Normal electrochemical deposition of NiFe films// Advances in Research. – 2017. – No. 11(2). – P. 1–10.
7. Создание интегральных компонентов усиления магнитного сигнала в бес-проводной МЭМС на основе магниторезистивных элементов / В.В. Амеличев, В.В. Аравин, А.Н. Белов и др. // Нано- и микросистемная техника. – 2013. – № 3. – С. 29–33.
8. Развитие технологий магнитополупроводниковых микросистем / В.В. Аме-личев, И.Е. Абанин, В.В. Аравин и др. // Изв. вузов. Электроника. – 2015. – Т. 20. – № 5. – С. 505–510.
9. Локальное электрохимическое осаждение пермаллоя на кремниевые пласти-ны с магниторезистивными наноструктурами / С.В. Шаманаев, Р.Д. Тихонов, А.А. Черемисинов и др. // Изв. вузов. Электроника. – 2015. – Т. 20. – № 3. – С. 313–316.
10. Магнитомягкие пленки пермаллоя, полученные электрохимическим осаж-дением из хлоридного электролита / Р.Д. Тихонов, С.А. Поломошнов, Д.В. Горелов и др // Оборонный комплекс – научно-техническому прогрессу России. – 2015. – № 4. – С. 26–31.
11. Ляндсберг Р.А., Саушкина Н.А. Лабораторный практикум по общей и неор-ганической химии. – Петропавловск-Камчатский: КамчатГТУ, 2008. – 105 с.
12. Коровин Н.В. Общая химия. – М.: Высшая школа, 1998. – 559 с.
13. Электрохимический процесс осаждения пленок пермаллоя для магнитопо-лупроводниковых микросистем / В.В. Амеличев, С.А. Поломошнов, Н.Н. Нико-лаева и др. // Изв. вузов. Электроника. – 2016. – T. 21. – № 5. – С. 482–484.