The use of chloride electrolytes for electrochemical deposition of NiFe permalloy seems to be promising because the sulphate electrolytes in presence of sulphur are non-stable. The magnetic properties of NiFe are very sensitive to rejection of the whole component o 4.26. In this work the control of preparing the electrolyte for electrochemical deposition has been conducted using the spectrophotometric investigation of the chloride electrolyte. The analysis of the electrolyte absorption spectrum and scattering of light by particles of iron hydroxide colloid has revealed that the dissociation of the two-valent iron and the mechanism of anomalous electrodeposition depend on temperature and affect the electrochemical deposition of the permalloy films. It has been noted, that the specific feature of the FeCl solution during hydrolysis of FeCl is the iron hydroxide precipitate (Fe(OH) in the form of colloid particles with the complex forming boric acid. It has been shown that from the chloride electrolyte with iron chloride solution filtration nickel is precipitated better than iron. It has been stated that normal congruent deposition of the NiFe alloy films takes place and the abnormal codeposition is excluded.
1. Коровин Н.В. О катодном процессе при электроосаждении сплава железо – никель // Журнал неорганической химии. – 1957. – Т. 2. – Вып. 9. – С. 2259–2263.
2. Harris Th.M., Wilson J.L. Electroplating bath for nickel-iron alloys and method // Patent US 5932082 A, 1999.
3. Afshar А., Dolati A.G., Ghorbani M. Electrochemical characterization of the Ni-Fe alloy electrodeposition from chloride-citrate-glycolic acid solutions // Materials Chemistry and Physics. – 2002. – Vol. 77. – P. 352–358.
4. Electrodeposition and characterization of nanocrystalline Ni-Fe Alloys / R. Abdel-Karim, Y. Reda, M. Muhammed et al. // Journal of Nanomaterials. – 2011. – Vol. 2011. – Article ID519274. – 8 p.
5. Тихонов Р.Д. Электроосаждение сплава NiFe для производства интегральных микросхем // Гальванотехника и обработка поверхности. – 2015. – №4. – C. 13–19.
6. Tikhonov R.D. Normal electrochemical deposition of NiFe films// Advances in Research. – 2017. – No. 11(2). – P. 1–10.
7. Создание интегральных компонентов усиления магнитного сигнала в бес-проводной МЭМС на основе магниторезистивных элементов / В.В. Амеличев, В.В. Аравин, А.Н. Белов и др. // Нано- и микросистемная техника. – 2013. – № 3. – С. 29–33.
8. Развитие технологий магнитополупроводниковых микросистем / В.В. Аме-личев, И.Е. Абанин, В.В. Аравин и др. // Изв. вузов. Электроника. – 2015. – Т. 20. – № 5. – С. 505–510.
9. Локальное электрохимическое осаждение пермаллоя на кремниевые пласти-ны с магниторезистивными наноструктурами / С.В. Шаманаев, Р.Д. Тихонов, А.А. Черемисинов и др. // Изв. вузов. Электроника. – 2015. – Т. 20. – № 3. – С. 313–316.
10. Магнитомягкие пленки пермаллоя, полученные электрохимическим осаж-дением из хлоридного электролита / Р.Д. Тихонов, С.А. Поломошнов, Д.В. Горелов и др // Оборонный комплекс – научно-техническому прогрессу России. – 2015. – № 4. – С. 26–31.
11. Ляндсберг Р.А., Саушкина Н.А. Лабораторный практикум по общей и неор-ганической химии. – Петропавловск-Камчатский: КамчатГТУ, 2008. – 105 с.
12. Коровин Н.В. Общая химия. – М.: Высшая школа, 1998. – 559 с.
13. Электрохимический процесс осаждения пленок пермаллоя для магнитопо-лупроводниковых микросистем / В.В. Амеличев, С.А. Поломошнов, Н.Н. Нико-лаева и др. // Изв. вузов. Электроника. – 2016. – T. 21. – № 5. – С. 482–484.