1561-5405 10.24151/1561-5405 Proceedings of Universities. Electronics Scientifical and technical journal "Proceedings of Universities. Electronics" Научно-технический журнал «Известия высших учебных заведений. Электроника» 1561-5405 2587-9960 National Research University of Electronic Technology Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" 10.24151/1561-5405-2019-24-2-129-136621.3.049.77.002Spectrophotometric Monitoring Chloride Electrolyte for Electrochemical Deposition of PermalloyСпектрофотометрический контроль хлоридного электролита для электрохимического осаждения пермаллояТихонов Роберт Дмитриевич ТихоновРоберт Дмитриевич DmitrievichTikhonov RobertTikhonov Robert DmitrievichПоломошнов Сергей Александрович ПоломошновСергей Александрович AleksandrovichPolomoshnov SergeyPolomoshnov Sergey AleksandrovichКостюк Дмитрий Валентинович КостюкДмитрий Валентинович ValentinovichKostyuk DmitriyKostyuk Dmitriy ValentinovichНПК «Технологический центр», г. Москва, РоссияНПК «Технологический центр», г. Москва, Россия; Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия129136http://ivuz-e.ru/issues/2-_2019/spektrofotometricheskiy_kontrol_khloridnogo_elektrolita_dlya_elektrokhimicheskogo_osazhdeniya_permal/

The use of chloride electrolytes for electrochemical deposition of NiFe permalloy seems to be promising because the sulphate electrolytes in presence of sulphur are non-stable. The magnetic properties of NiFe are very sensitive to rejection of the whole component o 4.26. In this work the control of preparing the electrolyte for electrochemical deposition has been conducted using the spectrophotometric investigation of the chloride electrolyte. The analysis of the electrolyte absorption spectrum and scattering of light by particles of iron hydroxide colloid has revealed that the dissociation of the two-valent iron and the mechanism of anomalous electrodeposition depend on temperature and affect the electrochemical deposition of the permalloy films. It has been noted, that the specific feature of the FeCl solution during hydrolysis of FeCl is the iron hydroxide precipitate (Fe(OH) in the form of colloid particles with the complex forming boric acid. It has been shown that from the chloride electrolyte with iron chloride solution filtration nickel is precipitated better than iron. It has been stated that normal congruent deposition of the NiFe alloy films takes place and the abnormal codeposition is excluded.

Использование хлоридных электролитов для электрохимического осаждения пермаллоя NiFe перспективно, так как сульфатные электролиты при наличии серы являются нестабильными. Магнитные параметры пленок сплава NiFe очень чувствительны к отклонению состава от молярного соотношения компонентов, равного 4,26. В работе контроль точности приготовления хлоридного электролита для электрохимического осаждения пермаллоя проведен с использованием спектрофотометрии. Анализ электролита по спектрам поглощения и рассеивания света коллоидными частицами гидроксида железа показал, что электролитическая диссоциация двухвалентного железа и механизм аномального соосаждения никеля и железа зависят от температуры и влияют на электрохимическое осаждение пленок пермаллоя. Отмечено, что специфической особенностью раствора хлорида железа при гидролизе является выделение осадка гидроксида железа в виде коллоидных частиц с комплексообразователем - борной кислотой. Показано, что из хлоридного электролита после фильтрации раствора хлорида железа никель осаждается лучше, чем железо. Установлено, что происходит нормальное конгруэнтное осаждение пленок сплава NiFe и аномальное соосаждение исключается.

хлоридный электролитпленки пермаллояэлектрохимическое осаждениеспектрофотометрический контроль Коровин Н.В. О катодном процессе при электроосаждении сплава железо – никель // Журнал неорганической химии. – 1957. – Т. 2. – Вып. 9. – С. 2259–2263.Harris Th.M., Wilson J.L. Electroplating bath for nickel-iron alloys and method // Patent US 5932082 A, 1999.Afshar А., Dolati A.G., Ghorbani M. Electrochemical characterization of the Ni-Fe alloy electrodeposition from chloride-citrate-glycolic acid solutions // Materials Chemistry and Physics. – 2002. – Vol. 77. – P. 352–358.Electrodeposition and characterization of nanocrystalline Ni-Fe Alloys / R. Abdel-Karim, Y. Reda, M. Muhammed et al. // Journal of Nanomaterials. – 2011. – Vol. 2011. – Article ID519274. – 8 p.Тихонов Р.Д. Электроосаждение сплава NiFe для производства интегральных микросхем // Гальванотехника и обработка поверхности. – 2015. – №4. – C. 13–19.Tikhonov R.D. Normal electrochemical deposition of NiFe films// Advances in Research. – 2017. – No. 11(2). – P. 1–10.Создание интегральных компонентов усиления магнитного сигнала в бес-проводной МЭМС на основе магниторезистивных элементов / В.В. Амеличев, В.В. Аравин, А.Н. Белов и др. // Нано- и микросистемная техника. – 2013. – № 3. – С. 29–33.Развитие технологий магнитополупроводниковых микросистем / В.В. Аме-личев, И.Е. Абанин, В.В. Аравин и др. // Изв. вузов. Электроника. – 2015. – Т. 20. – № 5. – С. 505–510.Локальное электрохимическое осаждение пермаллоя на кремниевые пласти-ны с магниторезистивными наноструктурами / С.В. Шаманаев, Р.Д. Тихонов, А.А. Черемисинов и др. // Изв. вузов. Электроника. – 2015. – Т. 20. – № 3. – С. 313–316.Магнитомягкие пленки пермаллоя, полученные электрохимическим осаж-дением из хлоридного электролита / Р.Д. Тихонов, С.А. Поломошнов, Д.В. Горелов и др // Оборонный комплекс – научно-техническому прогрессу России. – 2015. – № 4. – С. 26–31.Ляндсберг Р.А., Саушкина Н.А. Лабораторный практикум по общей и неор-ганической химии. – Петропавловск-Камчатский: КамчатГТУ, 2008. – 105 с.Коровин Н.В. Общая химия. – М.: Высшая школа, 1998. – 559 с.Электрохимический процесс осаждения пленок пермаллоя для магнитопо-лупроводниковых микросистем / В.В. Амеличев, С.А. Поломошнов, Н.Н. Нико-лаева и др. // Изв. вузов. Электроника. – 2016. – T. 21. – № 5. – С. 482–484.