Влияние термического воздействия на электрофизические свойства кремния, легированного редкоземельными элементами

Влияние термического воздействия на электрофизические свойства кремния, легированного редкоземельными элементами

Эффективность примесей редкоземельных элементов в кремнии и проявление оптических свойств структур зависят от спектра оптически и электрически активных центров, содержащих редкоземельные элементы, их общей концентрации, а также от взаимодействия с неконтролируемыми примесями и с термическими дефектами в объеме материала. В работе проведено исследование влияния редкоземельных элементов на термическое дефектообразование в кремнии n -типа методами нейтронно-активационного анализа, ИК-спектроскопии, изотермической релаксации емкости. Для изучения глубоких уровней, расположенных в нижней половине запрещенной зоны n -Si, применена оптическая перезарядка. Исследованы электрофизические свойства монокристаллов n -Si, легированных при выращивании самарием, гадолинием и иттербием при термическом воздействии. Показано, что наличие этих элементов в кремнии при термообработке в интервале температур 900-1200 °С в течение 2 ч на воздухе и в откачанных ампулах с последующей закалкой или медленным охлаждением подавляет высокотемпературные дефекты.
Сиражиддин Зайнабидинов
Андижанский университет Узбекистана имени Мирзо Бабура
Дилшад Эргашевич Назиров
Национальный университет Узбекистана имени Мирзо Улугбека
Поделиться