<?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?>
<article xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xmlns:xsi="http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" xmlns:ali="http://www.niso.org/schemas/ali/1.0/" article-type="research-article" dtd-version="1.2" xml:lang="en">
  <front>
    <journal-meta>
      <journal-id journal-id-type="issn">1561-5405</journal-id>
	    <journal-id journal-id-type="doi">10.24151/1561-5405</journal-id>	  
      <journal-id journal-id-type="publisher-id">Proceedings of Universities. Electronics</journal-id>
      <journal-title-group>
        <journal-title xml:lang="en">Scientifical and technical journal "Proceedings of Universities. Electronics"</journal-title>
        <trans-title-group xml:lang="ru">
          <trans-title>Научно-технический журнал «Известия высших учебных заведений. Электроника»</trans-title>
        </trans-title-group>        
      </journal-title-group>      
      <issn publication-format="print">1561-5405</issn>
      <issn publication-format="online">2587-9960</issn>
      <publisher>
        <publisher-name xml:lang="en">National Research University of Electronic Technology</publisher-name>
        <publisher-name xml:lang="ru">Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"</publisher-name>
      </publisher>
    </journal-meta>
    <article-meta>                                    
      
    <article-id pub-id-type="doi">10.24151/1561-5405-2020-25-1-69-72</article-id><article-id pub-id-type="udk">621.315.592.3:546.28’65</article-id><article-categories><subj-group><subject>Краткие сообщения</subject></subj-group></article-categories><title-group><article-title xml:lang="en">The Effect of Thermal Treatments on the Electrophysical Properties of Silicon Doped by Rare-Earth Elements</article-title><trans-title-group xml:lang="ru"><trans-title>Влияние термического воздействия на электрофизические свойства кремния, легированного редкоземельными элементами</trans-title></trans-title-group></title-group><contrib-group><contrib contrib-type="author"><string-name xml:lang="ru">Зайнабидинов Сиражиддин </string-name><name-alternatives><name xml:lang="ru"><surname>Зайнабидинов</surname><given-names>Сиражиддин </given-names></name><name xml:lang="en"><surname>Sirazhiddin</surname><given-names>Zaynabidinov</given-names></name></name-alternatives><string-name xml:lang="en">Zaynabidinov Sirazhiddin</string-name><xref ref-type="aff" rid="AFF-1"/></contrib><contrib contrib-type="author"><string-name xml:lang="ru">Назиров Дилшад Эргашевич </string-name><name-alternatives><name xml:lang="ru"><surname>Назиров</surname><given-names>Дилшад Эргашевич </given-names></name><name xml:lang="en"><surname>Ergashevich</surname><given-names>Nazirov Dilshad</given-names></name></name-alternatives><string-name xml:lang="en">Nazirov Dilshad Ergashevich</string-name><xref ref-type="aff" rid="AFF-2"/></contrib><aff id="AFF-1" xml:lang="ru">Андижанский университет Узбекистана имени Мирзо Бабура,  г. Андижан, Узбекистан</aff><aff id="AFF-2" xml:lang="ru">Национальный университет Узбекистана имени Мирзо Улугбека,  г. Ташкент, Узбекистан</aff></contrib-group><fpage>69</fpage><lpage>72</lpage><self-uri>http://ivuz-e.ru/issues/1-_2020/vliyanie_termicheskogo_vozdeystviya_na_elektrofizicheskie_svoystva_kremniya_legirovannogo_redkozemel/</self-uri><abstract xml:lang="en"><p>The efficiency of admixtures of rare-earth elements in silicon, an exhibition of the structures optical properties depends on the spectrum of optically and electrically active centers, containing rare-earth elements, their total concentration as well as on the interaction with the non-controllable admixtures and with thermal defects in the bulk of the material. In present work the investigations have been performed by the methods of the neutron-activation analysis, IR-spectroscopy, isothermal relaxation of the content. For studying the deep levels, located in the lower half of the prohibited zone n-Si the optical re-charging, has been applied. The influence of thermal treatments on the electrophysical properties of n-type silicon, doped by samarium, gadolinium and ytterbium during growing, has been investigated. It has been shown that the presence of these elements in silicon during the heat treatment in the temperature range 900-1200 ºC for 2 hours in the air and in the pumped out ampoules with subsequent quenching or slow cooling suppresses the high-temperature defects.</p></abstract><trans-abstract xml:lang="ru"><p>Эффективность примесей редкоземельных элементов в кремнии и проявление оптических свойств структур зависят от спектра оптически и электрически активных центров, содержащих редкоземельные элементы, их общей концентрации, а также от взаимодействия с неконтролируемыми примесями и с термическими дефектами в объеме материала. В работе проведено исследование влияния редкоземельных элементов на термическое дефектообразование в кремнии n -типа методами нейтронно-активационного анализа, ИК-спектроскопии, изотермической релаксации емкости. Для изучения глубоких уровней, расположенных в нижней половине запрещенной зоны n -Si, применена оптическая перезарядка. Исследованы электрофизические свойства монокристаллов n -Si, легированных при выращивании самарием, гадолинием и иттербием при термическом воздействии. Показано, что наличие этих элементов в кремнии при термообработке в интервале температур 900-1200 °С в течение 2 ч на воздухе и в откачанных ампулах с последующей закалкой или медленным охлаждением подавляет высокотемпературные дефекты.</p></trans-abstract><kwd-group xml:lang="ru"><kwd>полупроводник</kwd><kwd>кремний</kwd><kwd>n-Si</kwd><kwd>эффекты термических воздействий</kwd><kwd>электрофизические свойства</kwd><kwd>легирование кремния Sm</kwd><kwd>Gd и Yb при выращивании</kwd><kwd>термическая обработка кремния</kwd></kwd-group><funding-group/></article-meta>
  </front>
  <body/>
  <back>
    <ref-list><ref id="B1"><label>1.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Назыров Д.Э., Регель А.Р., Куликов Г.С. Кремний, легированный редкоземельными элементами: Препринт ЛФТИ им. А.Ф. Иоффе АН СССР №1122. Л., 1987. 56 с.</mixed-citation></ref><ref id="B2"><label>2.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Фистуль В.И. Атомы легирующих примесей в полупроводниках. М.: Физматлит, 2004. 432 с.</mixed-citation></ref><ref id="B3"><label>3.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Libertino S. The effects of oxygen and defects on the deep-level properties of Er in crys-talline Si // J. Appl. Phys. 1995. Vol. 78. No. 6. P. 3867–3873.</mixed-citation></ref><ref id="B4"><label>4.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Erbium doping in silicon by thermal in diffusion / E. Wong, H. Liu, Sh.Q. Man et al. // Jpn. J. Appl. Phys. 1998. Vol. 37. No. 6B. P. 3669–3672.</mixed-citation></ref><ref id="B5"><label>5.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Назыров Д.Э. Геттерирование золота самарием и гадолинием в кремнии  Элек-тронная обработка материалов. 2007. № 3 (245). C. 77–82.</mixed-citation></ref><ref id="B6"><label>6.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Назыров Д.Э., Базарбаев М.И., Иминов А.А. Диффузия иттрия в кремнии  Физика и техника полупроводников. 2006. Т.40. Вып. 7. С. 788–789.</mixed-citation></ref><ref id="B7"><label>7.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Назыров Д.Э. Диффузия иттербия в кремнии // Физика и техника полупроводников. 2003. Т. 37. Вып. 9. С. 1056–1057.</mixed-citation></ref><ref id="B8"><label>8.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Назыров Д.Э., Куликов Г.С., Малкович Р.Ш. Диффузия эрбия и тулия в кремнии // Физика и техника полупроводников. 1991. Т. 25. Вып. 9. С. 788–789.</mixed-citation></ref><ref id="B9"><label>9.</label><mixed-citation xml:lang="ru">Зайнабидинов С., Назыров Д.Э. Диффузия, растворимость и электрические свойст-ва скандия и празеодима в кремнии  Изв. вузов. Физика. 2007. № 1. С. 75–77.</mixed-citation></ref></ref-list>    
  </back>
</article>
