The program complex, which permits to decrease a methodical error of the diffractometrical method of measuring geometrical sizes of the topology units, introduced at the modeling analysis stage, has been described. The program complex includes the settlement module, the databank of parameters of virtual test structures, the auxiliary search system and the complex of procedures for visualization of the obtained results.
1. Нанотехнологии в электронике / Под ред. Ю.А. Чаплыгина. - М.: Техносфера, 2005. - 448 с.
2. Тодуа П.А., Быков В.А., Волк Ч.П. Метрологическое обеспечение измерений длины в микрометровом и нанометровом диапазонах и их внедрение в микроэлектронику и нанотехнологию // Микросистемная техника. - 2004. - Ч. 1. -№1. - С. 38-46; Ч. 2. -№ 2. -С. 24-39.
3. Виноградова Г.Н., Вознесенский Н.Б. Дифракционные методы контроля геометрических параметров // Оптический журнал. - 2002. - Т. 69. - № 2. - С. 76-81.
4. Волков В.В., Герасимов Л.Л., Капаев В.В., Ларионов Ю.В. Оптические методы измерения размеров БИС и СБИС // Микроэлектроника. - 1980. - Т. 9. - Вып. 6. - С. 554-563.