В дифрактометрических системах измерения основным достоинством является привязка к эталону длины. В качестве эталона выступает длина волны зондирующего излучения. В настоящей работе описано программное обеспечение, позволяющее автоматизировать функции получения расчетных данных по дифракции зондирующего излучения, формирования базы данных с расчетными значениями и использования этих данных в системах измерений.
1. Нанотехнологии в электронике / Под ред. Ю.А. Чаплыгина. - М.: Техносфера, 2005. - 448 с.
2. Тодуа П.А., Быков В.А., Волк Ч.П. Метрологическое обеспечение измерений длины в микрометровом и нанометровом диапазонах и их внедрение в микроэлектронику и нанотехнологию // Микросистемная техника. - 2004. - Ч. 1. -№1. - С. 38-46; Ч. 2. -№ 2. -С. 24-39.
3. Виноградова Г.Н., Вознесенский Н.Б. Дифракционные методы контроля геометрических параметров // Оптический журнал. - 2002. - Т. 69. - № 2. - С. 76-81.
4. Волков В.В., Герасимов Л.Л., Капаев В.В., Ларионов Ю.В. Оптические методы измерения размеров БИС и СБИС // Микроэлектроника. - 1980. - Т. 9. - Вып. 6. - С. 554-563.