The air removal system significantly determines the ecological efficiency of the entire life-support providing clean rooms. In the work as a scientific basis for decision-making on the structure and configuration of the air removal system, the exergetic approach of thermographic analysis and as the criterion of environmental impact the value of the specific exergy of the emission have been proposed. A structural-functional scheme of the system has been proposed, on the basis of which the exergy balances have been complied, the losses of specific exergy and the efficiencies in its main elements under various emission control schemes have been determined. It has been determined that the direct air removal with a thermodynamic advantage over the air removal system with additional purification is less favorable for the environment due to a significant level of exergy of emissions as a factor, determining the possibility of physical and chemical processes in the environment leading to the environment damage. The legitimacy of using the exergy as an objective and universal single indicator, linking the thermodynamic and the environmental quality of the system has been shown. The practical significance of this approach is to establish the important relationships between various aspects of the design and operation of the life-support systems for clean microelectronics and to develop measures to reduce the environmental pollution by reducing exergy of emissions.
1. Рябышенков А.С. Системный анализ функционирования чистых помещений для микроэлектро-ники // Изв. вузов. Электроника. – 2016. – Т. 21 – № 3. – С. 218–223.
2. Рябышенков А.С., Каракеян В.И., Ларионов Н.М. Методология системного анализа примени-тельно к исследованию аэродинамического режима чистых помещений // Наука и образование: иннова-ции, интеграция и развитие: материалы II Международной научно-практической конференции. –
Уфа: РИО ИЦИПТ, 2015. – С. 130–135.
3. Каракеян В.И. Теоретическое обоснование и разработка систем контроля микропримесей в воз-духе // Экологические приборы и системы. – 2012. – № 2. – С. 15–17.
4. Баймачев Е.Э. Определение минимальных затрат эксергии на отопление и естественную венти-ляцию жилых зданий // Изв. вузов. Строительство. – 2014. – № 7. – С. 67–73.
5. Амерханов Р.А., Драганов Б.Х. Эксергоэкономический метод оптимизации энергопреобразующих систем // Промышленная энергетика. – 2012. – № 3. – С. 30–35.
6. Хорошев Н.И., Елтышев Д.К., Кычкин Д.К. Комплексная оценка эффективности технического обеспечения энергомониторинга // Фундаментальные исследования. – 2014. – № 5 (4). – С. 716–720.
7. Абрамчук Ф.И., Харченко А.И. Использование эксергетического метода при термодинамическом анализе газовых процессов в тепловых машинах // Вестник ХНАДУ. – 2011. – № 53. – С. 32–44.
8. Бродянский В.М., Фратшер В., Михалек К. Эксергетический метод и его приложения / под ред. В.М. Бродянского // М.: Энергоатомиздат, 1988. – 288 с.
9. Рымкевич А.А. Системный анализ оптимизации общеобменной вентиляции и кондиционирования воздуха. – СПб.: Изд-во «АВОК Северо-Запад», 2003. – 272 с.
10. Шишов В.В. Энтропийно-статистический анализ холодильных циклов для систем кондициони-рования // Инженерный журнал: наука и инновации. – 2012. – № 5 (5). – С. 143 – 156.
11. Тишин О.А., Харитонов В.Н., Гатапова Н.Ц., Колиух А.Н. Теоретические основы энерго- и ресурсосбережения в химической технологии: учеб. пособие. – Тамбов: ФГБОУ ВПО «ТГТУ», 2012. –
92 с.
12. Шевцов А.А., Котарев В.И. Эксергетический анализ энергоэффективной биотехнологии по-рошкообразных ферментных препаратов // Известия ТСХА. – 2015. – № 1. – С. 79–90.
13. Горбачев М.В., Иванова А.П. Оценка эффективности действительных циклов авиационной сис-темы кондиционирования воздуха // Решетниковские чтения. – 2013. – Т. 1. – № 17.– С. 123–125.