The results of the work on creation of the design and geometry optimization of the magnetic field sensors based on anisotropic magnetoresistive thin-film structures have been presented. The magnetic field sensors with an odd linear response with the sensitivity up to 23.7 (mV/V)(kA/m) and 180 degree rotation sensor with the signal amplitude 15 mV/C have been obtained. The possibility of the developed sensors functionality in hard environments in the temperature range from minus 60 up to +150 °C based on the thermal tests results has been demonstrated. The temperature coefficient of sensitivity was minus 0.35% °C. The sensors have been tested in the angle, speed and phase sensors in the automotive industry. The characteristics of the developed sensors have shown that they match the characteristics of the sensors produced by the leading world firms.
1. Перенос спинов и микроволновые автоколебания в магнитных гетероструктурах с гигантским магнитосопротивлением / В.И. Корнеев, А.Ф. Попков, Г.Д. Демин и др. // Изв. вузов. Электроника. – 2011. – № 5 (91). – C. 5–17.
2. Dibbern U. Magnetoresistive sensors // Sensors. A comprehensive survey / Ed. W.G Gopel, J. Hesse, J.N. Zemel. – N. Y.: VCH, 1989. – P. 341–380.
3. Mapps D.J. Magnetoresistive sensor // Sensors and Actuators A: Physical. – 1997. – Vol. 59. – P. 9–19.
4. Hauser H., Stangl G., Janiba M., Giouroudi I. Measurements, technology and layout of sensitive anisotropic magnetoresistive sensors // J. of Electrical Engineering. – 2006. – Vol. 57. – No. 8/s. – P. 171–174.
5. B. Dieny Giant magnetoresistance in spin-valve multilayers // J. of Magnetism and Magnetic Materials. – 1994. – Vol. 136, N. 3. – P. 335–359.
6. Болтаев А.П., Пудонин Ф.А., Шерстнев И.А. Особенности магнитосопротивления многослойных систем магнитных наноостровков в слабых магнитных полях // ФТТ. – 2011. – Т. 53. – № 5. – С. 892–898.
7. Boltaev A.P., Pudonin F.A., Sherstnev I.A. Conductance of island and granular metal films // Solid State Communications. – 2014. – Vol. 180. – P. 39–43.
8. Тимошенков С.П., Кульчицкий А.П. Применение МЭМС-сенсоров в системах навигации и ориентации подвижных объектов // Изв. вузов. Электроника. – 2012. – № 6 (98). – C. 51–74.
9. Магниторезистивные структуры в устройствах наноэлектроники и микросистемной техники / В.А. Беспалов, Н.А. Дюжев, А.Ф. Попков и др. // Нанотехнологии в электронике. Вып. 2. – М.: Техносфера, 2013. – С. 531–591.
10. Особенности применения магниторезистивных наноструктур в датчиках автомобильных электронных систем / В.А. Беспалов, Н.А. Дюжев, А.С. Юров и др. // Нано- и микросистемная техника. – 2013. – №. 11. – C. 48–54.
11. www.nxp.com (дата обращения: 26.07.2014)
12. www.honeywell.com/magneticsensors (дата обращения: 26.07.2014)
13. Magnetic field sensors data sheet. – URL: www.alldatasheet.com/datasheet-pdf/pdf/17838/PHILIPS/KMZ10Al.html (дата обращения: 26.07.2014)
14. http://www.npoit.ru/products?view=item&item;_id=134 (дата обращения: 26.07.2014)
15. Анизотропные магниторезистивные преобразователи на основе магниторезистивных наноструктур с различным содержанием кобальта / А.А. Резнев, В.В. Амеличев, С.И. Касаткин и др. // Нано- и микросистемная техника. – 2010. – Т. 115. – №. 2. – С. 22–24.