Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
кандидат физико-математических наук, доцент Института физики и прикладной математики, старший научный сотрудник научно-исследовательской лаборатории электронной микроскопии Национального исследовательского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1)
кандидат физико-математических наук, ведущий научный сотрудник ООО «НТ-МДТ Спектрум Инструментс» (Россия, 124460, г. Москва, г. Зеленоград, пр-д 4922, 4/3)
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1; АО «Ангстрем», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 2, стр. 3
кандидат технических наук, доцент Института интегральной электроники Национального исследовательского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1); начальник лаборатории осаждения АО «Ангстрем» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 2, стр. 3)