Персоналии
кандидат физико-математических наук, начальник отделения квалификации и надежности ОАО «Ангстрем-Т» (г. Москва). Область научных интересов: надежность ИС, квалификационные испытания, электромиграция.
Статьи автора
Предложен новый метод определения электромиграционных параметров - энергии активации и показателя плотности тока. Для проведения испытаний использовались многослойные металлические проводники TiN/Al-Si(1%)/TiN с пассивирующим слоем SiO. Разработанный метод позволяет ускорить и удешевить процесс проведения электромиграционных испытаний за счет отказа от корпусирования образцов и использования высокотемпературных климатических камер.
- Просмотров: 1455 | Комментариев : 0