Персоналии
доктор технических наук, профессор кафедры МФЭ МИЭТ. Область научных интересов: технология материалов электронной техники.
инженер-технолог кафедры квантовой физики и наноэлектроники МИЭТ. Область научных интересов: фотолитография, химическое травление оксидных пленок и металлов.
ассистент кафедры материалов функциональной электроники (МФЭ) МИЭТ. Область научных интересов: тонкие пленки серебра, кластеры серебра, плавление-диспергирование тонких пленок, химическое травление кремния.
магистрант факультета экспериментальной и теоретической физики Национального исследовательского ядерного университета «МИФИ». Область научных интересов: теоретические методы исследования физических свойств неоднородных сред.