Персоналии
Доктор физико-математических наук, заведующий лабораторией технологии микро- и наносистемной техники Ярославского филиала Физико-технологического института РАН. Область научных интересов: плазменные процессы технологии микроэлектроники, микро- и наносистемной техники.
Аспирант кафедры микроэлектроники и общей физики Ярославского государственного университета им. П.Г. Демидова. Область научных интересов: наноструктурированные полупроводниковые материалы.
Кандидат физико-математических наук, научный сотрудник Ярославского филиала Физико-технологического института РАН. Область научных интересов: наноструктурированные халькогениды свинца и халькогениды олова, энергонезависимая электрически перепрограммируемая память на самоформирующихся проводящих наноструктурах, методы зондовой микроскопии.
Доктор физико-математических наук, профессор кафедры микроэлектроники и общей физики Ярославского государственного университета им. П.Г. Демидова. Область научных интересов: физика тонких пленок, наноструктурированные полупроводниковые материалы.
Инженер-исследователь ИСВЧПЭ РАН (г. Москва), аспирант Московского технологического университета. Область научных интересов: технологии изготовления МИС на основе нитрида галлия.