Высоковольтные быстропереключающиеся диоды (Fast Recovery Diode, FRD) характеризуются малым падением прямого напряжения и низкой рассеиваемой мощностью. Основной характеристикой таких диодов является блокирующее обратное напряжение, или напряжение пробоя. Цель настоящей работы - разработка топологии охранных колец, позволяющей получать максимально возможное блокирующее напряжение диода и определенную локализацию места пробоя при условии использования стандартных технологических процессов и без применения новых материалов или подложек. Разработана топология высоковольтной части кремниевых быстропереключающихся мощных диодов для получения максимального блокирующего обратного напряжения. Для расчета использовалась среда TCAD, в редактор структур которой интегрирована программа для автоматизации создания моделей приборов с размерами порядка нескольких миллиметров. Предложен принцип расчета расположения охранных колец, позволяющий получать силовые диоды с разным напряжением пробоя. Топология разработана так, чтобы пробой происходил под краем активной области, что гарантирует отсутствие катастрофических отказов прибора. Изготовленные по предложенной топологии мощные быстропереключающиеся диоды имеют максимальное блокирующее обратное напряжение в диапазоне 3,3-6,7 кВ, что говорит о достоверности методологии расчета.
- Просмотров: 1696 | Комментариев : 0