Персоналии
Заместитель начальника лаборатории НПК «Технологический центр» (г. Москва). Область научных интересов: исследование характеристик интегральных микросистем.
Статьи автора
Представлены результаты исследования локального электрохимического осаждения из хлоридного электролита. Получены пленки пермаллоя NiFe с магнитными свойствами, аналогичными объемным образцам, равномерные по толщине и с малыми механическими напряжениями без высокотемпературного отжига. Приведены зависимости скорости конгруэнтного осаждения пермаллоя от плотности тока.
- Просмотров: 1473 | Комментариев : 0