Перспективным материалом для создания холодных катодов являются углеродные пленки с приемлемыми эмиссионными свойствами и удовлетворительной адгезией к подложке. Включения металлических элементов в углеродную пленку, например хрома, титана и т.д., улучшают ее адгезию к подложке. В работе представлен один из способов получения покрытий на основе углерода и титана - электродуговое распыление композитного катода Ti/C в атмосфере аргона. Отмечено, что наличие в общем плазменном потоке микрочастиц углерода является источником структурных дефектов в растущей пленке. Решить данную проблему позволяет магнитная сепарация углеродной плазмы. Методом одновременного электродугового распыления графита в магнитном поле и титана из двух испарителей получены композитные металл-углеродные пленки. С использованием методов спектроскопии комбинационного рассеяния света и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии изучен состав пленок. Установлено, что полученные образцы представляют собой композитные пленки, состоящие из наночастиц графита, нанокластеров TiC или TiC, оксидов титана и соединений карбида титана TiC N.
- Просмотров: 463 | Комментариев : 0