Персоналии

кандидат физико-математических наук, заведующий лабораторией растровой электронной микроскопии Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук (Россия, 142432, г. Черноголовка, ул. Академика Осипьяна, 6)