На сегодняшний день наиболее используемым типом сенсоров паров этанола являются резистивные газовые сенсоры на основе полупроводников. Применение в качестве чувствительной структуры пористого кремния, например por-Si/Pd, сформированной металл-стимулированным травлением, позволяет формировать чувствительный элемент и электронную обвязку в едином технологическом процессе. В работе показана возмож-ность формирования резистивных газовых сенсоров методом металл-стимулированного химического травления кремния. Сформированы экспериментальные образцы на основе пористого кремния p- и n-типа проводимости. Представлено эмпирическое объяснение механизма чувствительности к этанолу исследуемых структур. Показана возможность формирования чувствительной структуры и электронной обвязки в едином технологиче-ском процессе.
- Просмотров: 852 | Комментариев : 0
In recent times, plasmonic effects are widely used to cover the different application purposes. Due to plasmonic effects the nanoparticles enhance some phenomena, such as Raman scattering, photocatalysis, and photogeneration. The understanding of nanoparticles and nanoalloys formation features makes it possible to obtain their specific composition and structure. In this work, several features of the Ag, Au nanoparticles and Ag-Cu, Au-Cu, Cu-Rh binary nanoalloys formation by thermal evaporation, condensation and heating on an inert surface in vacuum are shown. It is found by atomic force microscope investigation that rapid changes in the initial Ag array take place at a low temperature of 75–100 °C, and after the array enters a metastable state. It was found that the impact of the electron beam of a transmission electron microscope on the initial condensate leads to the migration of nanoparticles and their fusion despite their crystalline state. The difference in the formation of Ag-Cu, Au-Cu and Cu-Rh nanoalloys is demonstrated. The phase formation deviation from phase equilibrium diagram of bulk materials, associated with the size effect, is also demonstrated. It has been established that the considered features of the nanoparticles and nanoalloys formation are associated with the size effect of melting-point depression and existence of liquid layer of a certain thickness on the solid phase surface, which is in equilibrium with the solid phase.
- Просмотров: 642 | Комментариев : 0