Персоналии
Статьи автора
Представлен анализ проблемы появления включений углерода в монокристалле карбида кремния при выращивании слитков карбида кремния SiC модифицированным методом Лэли (так называемая графитизация слитка). Показано, что процесс графитизации слитка не связан с недостатком кремния в ростовой ячейке, напротив, именно избыток кремния у поверхности роста тормозит скорость процесса роста слитка и приводит к интенсивной коррозии графитовой арматуры.
- Просмотров: 240 | Комментариев : 0