Национальный исследовательский университет «МИЭТ», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1; АО «НПП «ЭСТО», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, Георгиевский пр-т, 5, стр. 1
аспирант Института микроприборов и систем управления имени Л. Н. Преснухина Национального исследовательского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1); начальник отдела вакуумного напылительного оборудования АО «НПП «ЭСТО» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, Георгиевский пр-т, 5, стр. 1)
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1; АО «Ангстрем», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 2, стр. 3
аспирант Института перспективных материалов и технологий Национального исследовательского университета «МИЭТ» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1); инженер-технолог лаборатории осаждения АО «Ангстрем» (Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 2, стр. 3)