Персоналии

кандидат технических наук, доцент, научный сотрудник ФГУП «НИИ Физических проблем им. Ф.В.Лукина» (г. Москва). Область научных интересов: материалы и процессы формирования наноструктур.

Еганова Елена Михайловна

Волкова Лидия Сергеевна

Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, г. Москва, Россия
младший научный сотрудник отдела структурного анализа и метрологии Института нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Россия, 119991, г. Москва, Ленинский пр-т, 32А)
Кандидат физико-математических наук, старший научный сотрудник ИНМЭ РАН (Россия, 119991, г. Москва, Ленинский проспект, д. 32А)
доктор физико-математических наук, профессор, член-корреспондент Татарской АН, начальник лаборатории ИНМЭ РАН (г. Москва). Область научных интересов: физика полупроводниковых приборов, нанотехнологии и наноэлектроника, в частности термодинамика и кинетика формирования наноструктур, адсорбция, процессы переноса в наноструктурах.

124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1, МИЭТ, ауд. 7231

+7 (499) 734-62-05
magazine@miee.ru