кандидат технических наук, доцент, научный сотрудник ФГУП «НИИ Физических проблем им. Ф.В.Лукина» (г. Москва). Область научных интересов: материалы и процессы формирования наноструктур.
Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, г. Москва, Россия
младший научный сотрудник отдела структурного анализа и метрологии Института нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Россия, 119991, г. Москва, Ленинский пр-т, 32А)
доктор физико-математических наук, профессор, член-корреспондент Татарской АН, начальник лаборатории ИНМЭ РАН (г. Москва). Область научных интересов: физика полупроводниковых приборов, нанотехнологии и наноэлектроника, в частности термодинамика и кинетика формирования наноструктур, адсорбция, процессы переноса в наноструктурах.