Персоналии
Инженер АО «Научно-исследовательский институт микроприборов-К» (г. Москва). Область научных интересов: измерение и исследование электрофизических характеристик полупроводниковых приборов на основе МДП-структуры.
Статьи автора
Проведен расчет характеристик МДП-варикапа с переносом заряда для использования в управляющих СВЧ-устройствах. Показано, что предельная частота прибора не менее чем в два раза выше предельной частоты варикапа на основе МДП-системы при большей толщине диэлектрика в варикапе с переносом заряда. Разработана методика измерения параметров прибора в СВЧ-диапазоне. Изготовлены образцы прибора на основе тонких подложек монокристаллического кремния с эпитаксиальными слоями. Установлено соответствие теоретических и экспериментальных характеристик варикапа.
- Просмотров: 1502 | Комментариев : 0