Беспроводная магниторезистивная микросистема измерения магнитного поля

Раздел находится в стадии актуализации

Представлены конструктивно-технологические решения по созданию магнитополупроводниковой элементной базы для беспроводных магниторезистивных микросистем измерения магнитного поля, а также результаты исследования высокочувствительного магниторезистивного преобразователя с концентраторами магнитного поля. Приведены характеристики разработанного измерительного усилителя для работы с сигналом от низкоомного магниторезистивного моста, имеющего некоторую величину его разбалансировки. Описана совмещенная технология изготовления магнитополупроводни-
Амеличев Владимир Викторович
НПК «Технологический центр», г. Москва, Россия
Сауров Александр Николаевич
Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук, г. Москва, Россия
Аравин Владислав Викторович
ФГКУ «Войсковая часть 35533»
Резнев Алексей Алексеевич
ФГКУ «В/ч 68240», г. Москва, Россия
Демин Анатолий Анатольевич
ОАО «НИИТАП» (г. Москва)
Хохлов Михаил Валентинович
ОАО «НИИТАП» (г. Москва)

124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1, МИЭТ, ауд. 7231

+7 (499) 734-62-05
magazine@miee.ru