Моделирование влияния конструктивно-технологических параметров на характеристики кремниевых резонансных сенсоров давления

Моделирование влияния конструктивно-технологических параметров на характеристики кремниевых резонансных сенсоров давления

Раздел находится в стадии актуализации

Рассмотрены вариационный и конечно-элементный методы расчета частотных характеристик резонансных сенсоров давления (РСД). В результате моделирования установлено существенное влияние двугранных углов в областях сопряжения балочки резонатора с упругим элементом РСД на его характеристики. Дана оценка степени влияния технологического разброса геометрических параметров балочки резонатора на частотные характеристики РСД.
Гридчин Виктор Алексеевич
Новосибирский государственный технический университет, г. Новосибирск, Россия
Чебанов Михаил Александрович
Новосибирский государственный технический университет
Васильев Владислав Юрьевич
ООО «СибИС» (г. Новосибирск)

124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1, МИЭТ, ауд. 7231

+7 (499) 734-62-05
magazine@miee.ru