The analytical and finite-element methods for calculation of the frequency characteristics of resonant pressure sensors (RPS) have been considered. As a result of modeling an essential influence of dihedral angles in the areas of the resonant beam junction with the RPS elastic element on its characteristics has been found. The extent of the influence of the technological errors of the resonant beam geometrical parameters on the RPS frequency characteristics has been estimated.
Рассмотрены вариационный и конечно-элементный методы расчета частотных характеристик резонансных сенсоров давления (РСД). В результате моделирования установлено существенное влияние двугранных углов в областях сопряжения балочки резонатора с упругим элементом РСД на его характеристики. Дана оценка степени влияния технологического разброса геометрических параметров балочки резонатора на частотные характеристики РСД.