Контроль чистоты реагентов безотходных технологий очистки поверхности полупроводниковых структур методом

Раздел находится в стадии актуализации

Показана необходимость использования в безотходных технологиях высокочувствительных методов и средств контроля чистоты реагентов. Выбраны критерии оценки качества используемых реагентов  и определены методы и средства контроля неорганических загрязнений. Предложены методы и средства контроля чистоты реагентов в безотходных технологиях.
Хаханин Сергей Юрьевич
НПК «Технологический центр» МИЭТ

124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1, МИЭТ, ауд. 7231

+7 (499) 734-62-05
magazine@miee.ru