1561-5405 10.24151/1561-5405 Proceedings of Universities. Electronics Scientifical and technical journal "Proceedings of Universities. Electronics" Научно-технический журнал «Известия высших учебных заведений. Электроника» 1561-5405 2587-9960 National Research University of Electronic Technology Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" ArchivesКонтроль чистоты реагентов безотходных технологий очистки поверхности полупроводниковых структур методомХаханин Сергей Юрьевич ХаханинСергей Юрьевич YurevichKhakhanin SergeyKhakhanin Sergey YurevichНПК «Технологический центр» МИЭТ7475http://ivuz-e.ru/issues/86-_2010/kontrol_chistoty_reagentov_bezotkhodnykh_tekhnologiy_ochistki_poverkhnosti_poluprovodnikovykh_strukt/

The need of using the highly sensitive methods and means of the agent purity control in no waste technologies has been shown. The quality assessment criteria of the agents being used have been chosen, and the methods and means of the control have been determined. The methods and means for the purity control of agents in the no waste technologies have been suggested.

Показана необходимость использования в безотходных технологиях высокочувствительных методов и средств контроля чистоты реагентов. Выбраны критерии оценки качества используемых реагентов  и определены методы и средства контроля неорганических загрязнений. Предложены методы и средства контроля чистоты реагентов в безотходных технологиях.

методы и средства контролябезотходные технологииинверсионная вольтамперометриямикроэлектроникаочистка поверхности