Модель неравновесной кристаллизации для численного решения задачи роста полупроводниковых кристаллов из расплавов

Модель неравновесной кристаллизации для численного решения задачи роста полупроводниковых кристаллов из расплавов

Построена модель процесса кристаллизации, объединяющая нестационарную задачу Стефана и классические представления о механизме концентрационного переохлаждения расплава. Эта модель совместно с системой уравнений Навье−Стокса для жидкости и уравнением теплопроводности для твердого тела применяется для численного решения задачи роста полупроводникового кристалла из расплава. Моделируется образование фундаментальных и технологических полос роста. Результаты расчетов сравниваются с экспериментальными данными.
Гончаров Виктор Анатольевич
Московский государственный институт электронной техники (технический университет)
Азанова Ирина Валерьевна
Московский государственный институт электронной техники(технический университет)
Васекин Борис Васильевич
Московский государственный институт электронной техники(технический университет)
Поделиться