В результате моделирования функциональных и эксплуатационных характеристик термического оборудования разработаны математические модели и аппаратно-программные средства для интеллектуальных микропроцессорных систем управления (МСУ) прецизионным термическим оборудованием. Показано, что оборудование с МСУ, в которых реализованы указанные математические модели, обеспечивает высокие технические и эксплуатационные характеристики.