Методом ионного наслаивания из водных растворов различного состава сформированы пленки InS на поверхности TiO и пористого анодного AlO. Установлено, что состав катионных и анионных растворов-прекурсоров влияет на оптическую ширину запрещенной зоны пленок, которая изменяется в пределах 1,97-2,65 эВ. Это объясняется с позиций изменения содержания кислорода в InS. Обнаруженные зависимости оптических свойств от значения рН-показателя анионных прекурсоров и природы аниона в катионных прекурсорах хорошо согласуются с рассчитанными условиями химического равновесия в изученных системах. Продемонстрирована зависимость эффективности фотоэлектрического преобразования солнечных элементов со сверхтонкими поглощающими слоями от содержания кислорода в пленках InS, полученных ионным наслаиванием.