Анализ электрохимического процесса осаждения пленок пермаллоя

Увеличение магнитной индукции в пермаллое позволяет в несколько раз повысить чувствительность магнитополупроводниковых микросистем к магнитному полю. При использовании пленок пермаллоя в качестве концентраторов магнитного поля для получения оптимальных магнитных свойств важно исключить аномальное соосаждение компонентов сплава и снизить разброс технологических параметров. В работе исследован хлоридный электролит с коррекцией рН соляной кислотой, который обеспечивает конгруэнтное электрохимическое осаждение пермаллоя при нагреве. Контроль точности приготовления электролита для электрохимического осаждения проведен с помощью спектрофотометрического исследования хлоридного электролита. Показано, что аномальность электроосаждения пермаллоя связана с переменной валентностью железа с двумя и тремя значениями заряда ионов при гидролизе солей железа. Установлено, что магнитные свойства пленок соответствуют объемным образцам пермаллоя и чувствительны к отклонению состава от молярного соотношения компонентов, равного 4,26.
Роберт Дмитриевич Тихонов
НПК «Технологический центр», г. Москва, Россия
Сергей Александрович Поломошнов
НПК «Технологический центр», г. Москва, Россия
Владимир Викторович Амеличев
НПК «Технологический центр», г. Москва, Россия
Дмитрий Валентинович Костюк
НПК «Технологический центр», г. Москва, Россия
Андрей Андреевич Черемисинов
НПК «Технологический центр», г. Москва, Россия
Поделиться