Анализ электрохимического процесса осаждения пленок пермаллоя

Увеличение магнитной индукции в пермаллое позволяет в несколько раз повысить чувствительность магнитополупроводниковых микросистем к магнитному полю. При использовании пленок пермаллоя в качестве концентраторов магнитного поля для получения оптимальных магнитных свойств важно исключить аномальное соосаждение компонентов сплава и снизить разброс технологических параметров. В работе исследован хлоридный электролит с коррекцией рН соляной кислотой, который обеспечивает конгруэнтное электрохимическое осаждение пермаллоя при нагреве. Контроль точности приготовления электролита для электрохимического осаждения проведен с помощью спектрофотометрического исследования хлоридного электролита. Показано, что аномальность электроосаждения пермаллоя связана с переменной валентностью железа с двумя и тремя значениями заряда ионов при гидролизе солей железа. Установлено, что магнитные свойства пленок соответствуют объемным образцам пермаллоя и чувствительны к отклонению состава от молярного соотношения компонентов, равного 4,26.
Тихонов Роберт Дмитриевич
НПК «Технологический центр», г. Москва, Россия
Поломошнов Сергей Александрович
НПК «Технологический центр», г. Москва, Россия; Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
Амеличев Владимир Викторович
НПК «Технологический центр», г. Москва, Россия
Костюк Дмитрий Валентинович
НПК «Технологический центр», г. Москва, Россия
Черемисинов Андрей Андреевич
НПК «Технологический центр», г. Москва, Россия
Поделиться