Особенности проектирования и технологии изготовления трехмерной микросистемы с торцевой коммутацией

Раздел находится в стадии актуализации

Трехмерные микросборки с торцевой коммутацией перспективны для применения в электронике промышленного и аэрокосмического назначения благодаря высокой плотности вертикальных соединений и стойкости к внешним воздействиям. При проектировании таких трехмерных структур возникают трудности, связанные с обозначением в САПР вертикальных дорожек, отделяемой тестовой части и заданием расположения компонентов внутри сборки. При изготовлении – проблемы связаны с процессами и материалами для герметизации трехмерных модулей, совмещением уровней, совмещением вертикальной коммутации с торцевыми контактами и формированием торцевой металлизации. В работе рассмотрены два типа микросборок с торцевой коммутацией. В области проектирования приведены решения по использованию стандартных инструментов САПР электроники для обозначения нестандартных структур. В области технологии рассмотрены способы и материалы герметизации сборок, приведены результаты исследования температурного коэффициента линейного расширения данных материалов методом дилатометрии. Указаны подходы к совмещению уровней и формированию вертикальных дорожек с шириной и зазором 50 мкм путем лазерной абляции осажденного металла с поверхности герметизирующего компаунда.
Беляков Игорь Андреевич
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1
Вертянов Денис Васильевич
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1
Кочергин Михаил Дмитриевич
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1
Тимошенков Сергей Петрович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1

124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1, МИЭТ, ауд. 7231

+7 (499) 734-62-05
magazine@miee.ru