Методики определения концентрации и подвижности в слоях областей пространственного заряда

Раздел находится в стадии актуализации

Для исследования и контроля технологических процессов изготовления полупроводниковых приборов измеряются вольт-фарадные и вольт-сименсные характеристики областей пространственного заряда в тонких слоях полупроводника. Непосредственное определение профилей распределения концентрации и подвижности носителей заряда по измеренным вольт-фарадным и вольт-сименсным характеристикам является актуальной задачей. В работе предложены простые оперативные методики обработки вольт-фарадных и вольт-сименсных характеристик в областях пространственного заряда в тонких слоях полупроводника с целью получения профилей распределения концентрации и подвижности носителей заряда. В частности, рассмотрено определение профилей концентрации основных носителей полупроводника, подвижности основных носителей полупроводника на структурах с проводящей подложкой, подвижности основных носителей полупроводника на структурах с изолирующей подложкой. Показано, что методики обработки вольт-фарадных и вольт-сименсных характеристик полупроводниковых структур типа диода Шоттки, несимметричного p–n-перехода и МДП-структур могут использоваться для контроля технологических процессов и при разбраковке готовых приборов.
Карамышев Владимир Петрович
Национальный исследовательский университет «МИЭТ», Россия, 124498, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, 1

124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1, МИЭТ, ауд. 7231

+7 (499) 734-62-05
magazine@miee.ru