Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Россия, 634050, г. Томск, пр. Ленина, 40)
младший научный сотрудник лаборатории микросистемной техники Передовой инженерной школы Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники (Россия, 634050, г. Томск, пр. Ленина, 40), alena.a.talovskaia@tusur.ru
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Россия, 634050, г. Томск, пр. Ленина, 40)
научный сотрудник лаборатории микросистемной техники Передовой инженерной школы Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники (Россия, 634050, г. Томск, пр. Ленина, 40),