Персоналии

доктор технических наук, профессор, заведующий лабораторией Саратовского филиала Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН. Область научных интересов: плазмохимические процессы осаждения и травления материалов микроэлектроники.
аспирант кафедры ОФХ МИЭТ. Область научных интересов: методы исследования концентраций ионов в жидких средах.
аспирант кафедры ОФХ МИЭТ. Область научных интересов: химические и электрохимические методы формирования покрытий.
старший преподаватель кафедры ОФХ МИЭТ. Область научных интересов: электрохимия, технологии формирования поверхностных структур.

124498, г. Москва, г. Зеленоград, площадь Шокина, дом 1, МИЭТ, ауд. 7231

+7 (499) 734-62-05
magazine@miee.ru