Персоналии

Представлены результаты экспериментальных исследований режимов активации зондовой нанолитографии тонкой пленки титана методом локального анодного окисления. Установлено, что использование УФ-стимуляции приводит к уменьшению геометрических размеров оксидных наноразмерных структур и сопровождается увеличением амплитуды с 6 до 7 В и длительности импульсов с 50 до 100 мс порогового напряжения при относительной влажности 50%. Приведены результаты экспериментальных исследований влияния материала проводящего покрытия кантилевера и температуры подложки на геометрические размеры сформированных оксидных наноразмерных структур.

• Просмотров: 1187 | Комментариев : 0