Персоналии
Доктор технических наук, профессор кафедры НТ МСТ ИНЭП ЮФУ, директор НОЦ «Нанотехнологии» ЮФУ. Область научных интересов: стимулированные фотонным, ионно- и электронно-лучевым воздействием физико-химические процессы технологии микро- и наноэлектроники; разработка и исследование
Кандидат экономических наук, докторант кафедры НТ МСТ ИНЭП ЮФУ. Область научных интересов: МЭМС, атомно-силовая микроскопия, нанотехнологии, зондовые нанотехнологии.
Кандидат технических наук, ассистент кафедры НТ МСТ ИНЭП ЮФУ. Область научных интересов: сканирующая зондовая микроскопия, атомно-силовая микроскопия, нанотехнологии, углеродные нанотрубки.
Кандидат технических наук, ассистент кафедры НТ МСТ ИНЭП ЮФУ. Область научных интересов: растровая электронная микроскопия, метод фокусированных ионных пучков, углеродные нанотрубки и сенсоры на их основе.
Кандидат технических наук, доцент, заместитель директора ИНЭП ЮФУ по науке. Область научных интересов: электронная микроскопия, фокусированные ионные пучки, взаимодействие ионов с твердым телом, методы диагностики и анализа наноструктур, разработка и исследование технологических процессов изготовления элементной базы приборов микро- и наноэлектроники.