Персоналии
Статьи автора
Рассмотрено влияние гетерослоя на упругие постоянные и поверхностное натяжение в наноэлектромеханических системах. Проведено количественное сравнение этих эффектов на примере резонатора из кремния. Показано, что представленные результаты лежат в диапазоне возможного экспериментального наблюдения.
- Просмотров: 336 | Комментариев : 0